Chell
ミニチュアK-セル

Chell Instruments社(英国)ミニチュアK-セル

  • コンパクトデザイン
  • 最小領域の蒸着を可能にする指向性
  • 安定した蒸着レート
  • 材料交換を容易にするPBNライナー採用
  • シャッター及び冷却機能付

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特長

  • (1)  コンパクトデザイン
  • (2) 最小領域の蒸着を可能にする指向性
  • (3) 安定した蒸着レート
  • (4) 材料交換を容易にするPBN ライナーの採用
  • (5) シャッター及び冷却機能付
  • (6) 4 種類のアパーチュアサイズ

構成

  • (1)  ミニチュアK-セル本体: KC3-BODY
  • (2)  グラファイトるつぼ: KC3-GRA-R  ※Pt-Rh サーモカップル付
  • (3)  PBN ライナー: KC3-PBN  ※アパーチュア(1mm)2 個付
  • (4)  ミニチュアK-セル用温調付電源(4m ケーブル付): VFK-CELL

仕様

ミニチュアK-セル本体

  • (1)  最高温度: 1600℃
  • (2)  るつぼ容量:
    • 高純度グラファイト: 0.5cc
    • PBN: 0.4cc
  • (3)  冷却方式: 水冷もしくは液体窒素 (0.25l/min)
  • (4)  サーモカップル: タイプR (Pt-Rh) 20-1600℃
  • (5)  アパーチュアサイズ(標準): 1mm (カスタム: 1.5mm/2mm/3mm)
  • (6)  ベーキング温度: 250℃
  • (7)  取付フランジ: ICF70
  • (8)  シャッター機構: 手動回転タイプ

ミニチュアK-セル用温調付電源

  • (1)  温度制御: PID 制御
  • (2)  ヒーター容量: 250W
  • (3)  温度制御安定性: ±2℃又は0.3%
  • (4)  外形寸法: 425mm x 470mm x 85mm
  • (5)  重量: 10.5 Kg
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