Ferrovac
ウォーブルスティック

真空関連製品

Ferrovac社(スイス)ウォーブルスティックマニピュレータの説明

フェロバック社は、スイス連邦工科大学(ETH、チューリッヒ)からスピンオフした企業で、ETHで開発されたマグネットカップリングと溶接べローズシールによる精密ウォーブルスティックを製品化しました。特に超高真空内でのデリケートで精密なマニピュレーションのためにデザインされました。大気側と真空側にダブルにセットされた希土類マグネットが、直線・回転運動を行うために使われます。またダブルシャフトによりピンサーグリップを作動させることもできます。
従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特筆すべき特長を有したウォ-ブルスティックですので、そのシャフトは、滑らかにコントロールすることが出来ます。ハンドルを放しても、シャフトは同じポジションを保持します。
UHV-SPMでのサンプル搬送、そしてチップ、カンチレバー交換のように、更にデリケートな取扱いを要求されるところで、日常の些細なルーチンワークのように簡単に取扱いができるようになります。チャンバー内の繊細な装置への損傷のリスクは最小に押さえられます。また実際に使用して頂ければ、その効果を実感して頂けるものと確信しております。

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使用例:超高真空に引かれている状態で
ウォ-ブルスティック(WM40型)は
任意の位置を保持しています。
写真のご提供:物質・材料研究機構:内橋様


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●シングルシャフト・ウォーブルスティック
これは、特に超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様

  1. 動作角度:±20°
  2. 直進力:30N
  3. トルク:0.5Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量:<1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WM40-100:100mm
  • WM40-150:150mm
  • WM40-200:200mm

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●ワイドアングル・シングルシャフト・ウォーブルスティック
これは、特に動作角度範囲が大きく、超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真 空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様

  1. 動作角度:±30°
  2. 直進力:30N
  3. トルク:0.5Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量:<1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WM40-WA-150:150mm
  • WM40-WA-175:175mm

Ferrovac社 ダブルシャフト・ウォーブルスティックマニピュレータ

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●ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」 という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。各種ピンサーグリップが用意されています。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様

  1. 動作角度:±20°
  2. 直進力:23N
  3. トルク:0.4Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WMG40-115:115mm
  • WMG40-165:165mm

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●オミクロンピンサーグリップ付ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、オミクロンピンサーグリップを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気 圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様

  1. 動作角度:±20°
  2. 直進力:23N
  3. トルク:0.4Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WMG40-115-OMS:115mm
  • WMG40-165-OMS:150mm

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●A型ピンサーグリップ付ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、ピンサーグリップを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真 空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様

  1. 動作角度:±20°
  2. 直進力:23N
  3. トルク:0.4Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WMG40-165-HJS:165mm

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●A型ピンサーグリップ付微調整型ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、ピンサーグリップの開閉が微妙に調整できるネジを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様

  1. 動作角度:±20°
  2. 直進力:23N
  3. トルク:0.4Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WMG40-165-HJS:165mm

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直交型ピンサーグリップ付

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WMG-TS:シャフトサポート付

 

仕様

  1. 動作角度:±20°
  2. 直進力:23N
  3. トルク:0.4Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • WMG40-210-OMP:210mm
  • WMG40-XXX-OMP:450mmMAX

●直交型ピンサーグリップ付ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、オミクロンサンプルプレート用直交型ピンサーグリップを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて 「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます
⇒ICF70取付フランジ図参照


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●WMH-FC:WMGモデル用微調整アダプター
これは、ピンサーグリップの開閉が微妙に調整できるようにするためのネジタイプのアダプターです。WMGシリーズウォーブルスティックに装着できます。
●WMG-TS:シャフトサポート
これは、ロングストローク用に強固な安定性を保持するために用意された外付のシャフトサポートです。
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●ICF70取付フランジ
左図は、WM40シリーズ及びWMG40シリーズウォーブルスティックの動作角度を最大限にいかすためのフランジ取付の推奨図です。
仕様

 

  1. 移動距離:6mm
  2. ベーキング温度:150°

Ferrovac社 ウォーブルスティックアクセサリ

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●FRK-330:ストレートサンプルフォーク
これは、サンプルホルダー及びドライバー(左図)を操作するためにWM40シリーズのウォーブルスティックと組合わせて使用されます。

ピン仕様

  • 間隔:12mm
  • 直径:1.5mm

型番

  • FRK-330

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●PG-HJS:A型ピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティックにマウントされるように設計されています。ハサミの部分が対称的に開きます。顎部及びスリット部は、指定できます。

仕様

  • 開閉角度:40°

型番

  • PG-HJS

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●PG-HJS-OM:OMピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティック及びMDG40シリーズの直線回転導入機にマウントされるように設計されています。スリット部の寸法は、オミクロンサンプルプレートに適合します。

仕様

  • 開閉角度:40°

型番

  • PG-HJS-OM

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●PG-HJS-OML:ロングピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティック及びMDG40シリーズの直線回転導入機にマウントされるように設計されています。スリット部の寸法は、オミクロンサンプルプレートに適合します。

仕様

  • 開閉角度:40°

型番

  • PG-HJS-OML

直角型ピンサーグリップ

 

●PG-OMP:直角型ピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティックにマウントされるように設計されています。スリット部の寸法は、オミクロンサンプルプレートに適合します。ハサミの片側だ けが開きます。

仕様

  • 開閉角度:10°

型番

  • PG-OMP

ストレートピンサーグリップ

 

●PG-OMS:ストレートピンサーグリップ
オミクロン製でWMG40-OMSウォーブルスティックにマウントすることができます。それによってオミクロンサンプルホルダーの操作に回転の自由度が持たされます。

仕様

  • オミクロン問合

型番

  • PG-OMS

P型ピンサーグリップ

 

●PG-PJS:P型ピンサーグリップ(UHVピンセット)
WMG40ウォーブルスティックに装着され微調整アダプタWMH-FCと組合せて、UHV中での極端にデリケートな操作のために一対の精密なピンセットのように使用されます。電気的コンタクトも装着可能。パラレル開閉作動。

ピン仕様

  • 平行開閉量:20mm

型番

  • PG-PJS

●PG-FES-OM:J型ピンサーグリップ
WMG40ウォーブルスティックに装着されるように設計されています。ハサミの片側だけが開きます。オミクロンサンプルプレートに適合します。

ピン仕様

  • 開閉量:12mm

型番

  • PG-FES-OM

Ferrovac社 直線回転導入機(安価版)

ミニチュアシングルシャフト直線回転導入機

●ミニチュアシングルシャフト直線回転導入機:ICF34
これは、超高真空対応でオールメタルシールのコンパクトなICF34直線回転導入機です。特別に開発されたシートベアリングにより、非常に多くのベーキングサイクルの後でさえ滑らかな操作性を保証いたします。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。ロングストローク用に強固な安定性を保持するために外付のシャフトサポートが用意されています。

仕様

  1. 直進力:30N
  2. トルク:0.5Nm
  3. フランジ:ICF34
  4. ベーキング温度:150°
  5. Heリーク量:<1×10-11Pa・m3/sec
  6. UHV対応

[型番・移動距離]

  • MD16-150:150mm
  • MD16-200:200mm
  • MD16-300:300mm
  • MD16-450:450mm

シングルシャフト直線回転導入機

●シングルシャフト直線回転導入機:ICF70
これは、超高真空対応でオールメタルシールのコンパクトなICF70直線回転導入機です。特別に開発されたシートベアリングにより、非常に多くのベーキングサイクルの後でさえ滑らかな操作性を保証いたします。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。ロングストローク用に強固な安定性を保持するために外付のシャフトサポートが用意されています。

仕様

  1. 直進力:30N
  2. トルク:0.5Nm
  3. フランジ:ICF70
  4. ベーキング温度:150°
  5. Heリーク量:<1×10-11Pa・m3/sec
  6. UHV対応

[型番・移動距離]

  • MD40-300:300mm
  • MD40-400:400mm
  • MD40-450:450mm

●ダブルシャフト直線回転導入機(仕様・図面はお問い合せ下さい)

[型番・移動距離]

  • MDG40-450:450mm(ピンサーグリップ用アダプター付)
  • MDG40-450-HJS-OM:450mm(オミクロン用ピンサーグリップ付)
  • MD40-600:600mm (ピンサーグリップ用アダプター付)
  • MD40-600-HJS-OM:600mm (オミクロン用ピンサーグリップ付)

外付シャフトサポート

● TS-MD:外付シャフトサポート
これは、ロングストローク用に強固な安定性を保持するために用意された外付のシャフトサポートです。


 

Ferrovac社 サンプルトランスポータ / ロードロックシステム

トランスファーロッド

●GMDシリーズ:トランスファーロッド
これは、超高真空対応でオールメタルシールされた安価なICF70トランスファーロッドです。特別に開発されたシートベアリングにより、非常に多くのベーキングサイクルの後さえ滑らかな操作性を保証いたします。

仕様

  1. 直進力:~70N
  2. トルク:~5Nm
  3. フランジ:ICF70
  4. ベーキング温度:150°
  5. Heリーク量 <1×10-11Pa・m3/sec
  6. UHV対応

[型番・移動距離]

  • GMD40-500:500mm
  • GMD40-750:750mm
  • GMD40-1000:1000mm

ロードロック

●KS40シリーズ:ロードロック
これは、サンプルを清浄状態で素早くUHVシステムに投入するように設計されています。直径35mmのサンプルまでハンドリングできます。サンプルは、MD16直線回転導入機で後部のバイトンシールのドアから導入します。標準KS40シリーズの材料は、SUS304Lです。

仕様

  1. 移動距離:300mm
  2. 直進力:30N
  3. トルク:0.5Nm
  4. フランジ:ICF70
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-10Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • KS40-MD16-300-ST:300mm
  • KS40TI-MD16-300:300mm

ロードロック

● KS63シリーズ:ロードロック
これは、サンプルを清浄状態で素早くUHVシステムに投入するように設計されています。直径35mmのサンプルまでハンドリングできます。サンプルは、MD16直線回転導入機で後部のバイトンシールのドアから導入します。標準KS63シリーズの材料は、SUS304Lです。

仕様

  1. 移動距離:300mm
  2. 直進力:30N
  3. トルク:0.5Nm
  4. フランジ:ICF114
  5. ベーキング温度:150°
  6. Heリーク量 <1×10-10Pa・m3/sec
  7. UHV対応

[型番・移動距離]

  • KS63-MD16-300-ST:300mm
  • KS63TI-MD16-300:300mm

Larson社(米国)ビューイングポート

ビューイングポート

仕様

窓材:ガラス、溶融・合成石英、サファイア、CaF2、MgF2、LiF、BaF2、SiO2、Ge、ZnSe、KBr
低価格でご提供しています

国内製真空配管部品

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銅ガスケット・フレキシブルチューブ
クランプ・センタリング
低価格でご提供しています

チューブ付フランジ
チューブ付フランジ
(NW25/L=50/外径:φ6.35/内径:φ4.35)

California Fine Wire社(米国)UHV用被覆電線

UHV用被覆電線 UHV用被覆電線

Solid Sealing Technology社(米国)電流導入端子

電流導入端子 電流導入端子

防振対策製品

配管振動防止おもり

配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり

振動防止用空気バネ

振動防止用空気バネ 振動防止用空気バネ
使用例

型番

  • 固有振動数:0.5Hzまでの低周波振動防止に最適
  • 各種チャンバーシステム に多数の実績
  • 耐久性と経済性に優れている
  • 耐許容荷重:6,300kg/個
  • 使用温度範囲:-55℃~70℃

ステージ付AFM測定装置

ステージ付AFM測定装置

ハンディAFM

ハンディAFM
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