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Ferrovac 次世代UHVスーツケース（UHVトランスファーベッセル）

  • 超高真空及び極低温環境下でのサンプルの保管、遠隔地への搬送及び装置間の移送が可能なトランスファーベッセルです。
  • 超小型、軽量でさまざまな用途に適用できるモジュール式システムです。
  • フルベーキング後真空封止により使用可能状態で出荷されます。
  • ⇨高速真空排気ドッキングステーションとサンプルローダー：
    サンプルをUHVシステムに簡単に移送するために、UHVスーツケースをロードロックに直接マウントするか、高速真空排気ドッキングステーションまたはサンプルローダーを介して取り付けることができます。
UHVスーツケース概要
VSN40S UHVスーツケース
VSN40S UHV-Cryoスーツケース
VSN40M ミニUHVスーツケースMD
VSN40M ベースモジュール
ミニUHVスーツケースMD
VSN40S ベースモジュール
UHVスーツケースS
VSN40S(HL) サンプルトランスポーター付
横型UHVスーツケース
VSN40M サンプルトランスポーター付
ミニUHVスーツケースRM

Ferrovac 次世代UHVスーツケース⽤⾼速真空排気ドッキングステーション

  • ⾼速真空排気ドッキングステーションは、UHVスーツケースからUHVシステムへの⾮常に速いサンプルの移送を可能にします。
  • ⾼速真空排気ドッキングステーションの真空は、ターボ分⼦ポンプとクライオポンプにより約30分以内にサンプルの移送に⼗分良好なレベルまで到達されます。
  • マックスプランク固体研究所のナノスケール科学部⾨と共同で開発されました。
⾼速真空排気ドッキングステーション
（LN2フローUHVブースター）
⾼速真空排気ドッキングステーション
（LN2デュワーUHVブースター）

Ferrovac 次世代UHVスーツケース用サンプルローダー

  • Thermo Fisher Helios DualBeamTM FIB-SEMシステム用ドッキングパッケージです。
  • これらのサンプルローダーは、お手元のシステムに「UHVスーツケース」を容易にドッキングしてサンプルの移送を可能にする構成になっています。
Direct Docking Kit
FerroLoader Docking Kit
QuickLoader™ Docking Kit

Ferrovac 次世代UHVスーツケース⽤NEXTorr®ポンプ&コントローラー

  • NEG(⾮蒸発型)ゲッターポンプと⼩型イオンポンプを融合させた超⼩型かつ⾼性能の超⾼真空⽤コンビネーションポンプです。
  • NEG(⾮蒸発型)ゲッターポンプは⾮常にコンパクトかつ軽量で、振動を発⽣せず、最⼩限の電⼒で、体積に対して極めて⾼い排気速度を可能にしています。
NEXTorr®ポンプ
NEXTorr®ポンプ⽤
バッテリー駆動イオンポンプコントローラー
NEXTorr®ポンプ⽤
NEG起動コントローラー

Ferrovac ウォブルスティック及びアクセサリー

  • 超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧差の影響を受けない」と言う特筆すべき特⾧を有していますので、滑らかに制御することができ、ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまることができます。
  • UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送のように、更にデリケートな取扱いを要求される作業に最適でチャンバー内の装置への損傷リスクも最低限に押さえられます。
シングルシャフトウォブルスティックWM
デュアルシャフトウォブルスティックWMG
ウォブルスティック・アクセサリー

Ferrovac 高速エントリーロードロック及びクイックアクセスドア


高速エントリーロードロック

クイックアクセスドア