コンパクトUHVスーツケース11

Ferrovac ウォブルスティック

  • 超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧差の影響を受けない」と言う特筆すべき特⾧を有していますので、滑らかに制御することができ、ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまることができます。
  • UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送のように、更にデリケートな取扱いを要求される作業に最適でチャンバー内の装置への損傷リスクも最低限に押さえられます。

Ferrovac ヘキサポッドポートアライナー

Ferrovac ロードロックシステム

超高真空コンポーネント